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在等離子體中,由于玻璃基片受到等離子體中荷能粒(電)子的轟擊,首先對基片表面吸附的環境氣體、水汽、污物等進行轟擊,使其活化,使表面清潔,提高表面能量,當沉積時薄膜原子或分子浸入基片表面,增加范德華力。第二種是玻璃基片表面受到荷能粒(電)子的沖擊,在這種沖擊下,在玻璃基片表面會形成許多凹坑、孔隙,在沉積過程中,薄膜中的原子或分子進入這些凹槽、孔隙,從而產生機械鎖合力。另外,襯底表面的粗化,使得實際的表面積增加,這對增加范德華力(分子間作用力)、擴散粘接力和靜電力都是有好處的,從而增加了總粘接力。
對玻璃進行等離子表面處理后,對基片表面進行清潔活化,表面能得到改善,不僅能有效去除吸附在基片上的環境氣體分子、水汽和污染物,基片表面會形成清潔活化的微觀粗糙面,而且避免了二次污染。
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