1、中頻電源：頻率大多選擇40-100KHZ電源，其特點是低溫等離子的能量高而密度小，因而穿透性較好，可不需要匹配器，生產成本較低：通常為0-1200以及0-3600W。我司選用固態半導芯片自 主研發的中頻電源，通過長期實驗及客戶現場的生產使用，不斷升級優化配置，專業滿足清洗工業中驅動等離子系統的要求及穩定性，其中40KHz/80KHz/100KHz三款洗了產品滿足了不同工藝需求，確保了超穩定的輸出，此穩定技術使功率放大性能得以優化并降低由等離子阻抗波動造成的功率增益變化。 

     2、射頻電源：頻率為13.56MHZ，其特點是低溫等離子的能量低而密度大，因而穿透性較差，且需搭配匹配器使用，成本相應會有所增加；通常為0-600W以及0-1000W。

     3、微波電源：頻率為2.45GHZ，因成本太高，在實際生產過程中使用較少，這里不予過多介紹。

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