等離子清洗機，一種全新的高科技技術，主要用于各種材料的表面改性處理（清潔、活化、刻蝕、接枝、聚合等）。它是一種干式的微觀“污垢”清潔設備，環保無污染，是企業生產、科研所及高校實驗的理想設備，由于等離子清洗設備的應用領域極為廣（guang)泛，客戶的清洗需求復雜多變，恒芯研發定制了多款腔體結構：

       1、平行多層電極式：

           這是常見的電極結構。層與層之間的金屬電極面積相等，等離子體放電比較均勻，電極中間可以放托架，把需要處理的產品放置在托架上，層間距可以調整，電極上面可以打孔或加上水冷。除了薄膜、卷狀和粉體類的產品或材料不能處理，其它物品都可以。

       2、平板垂直電極式：

           這種電極結構不是簡單把水平電極改為垂直就可以，層與層之間的金屬電極的間距，等離子體放電的均勻性，電極板的溫控，以及產品或材料的放置問題等，都是要充分考慮的。產品的擺放通常采用兩種方式：電極之間加上夾子或掛鉤來處理物品；在載物車上加夾子和掛鉤來處理物品。這種結構的等離子體放電均勻性要好于水平電極的均勻性。

      3、懸浮極抽拉網板：

          可抽拉式懸浮極網格托盤，有效降低清洗時產品溫度，確保全（quan)方位清洗產品及潔凈度。

       等離子清洗機電極的材質以及分布大小間距都對等離子清洗效果有一定的影響，在容性耦合等離子產生裝置下，電子密度與極板間距成正比例關系，平均電子溫度與極板間距成反比關系，其均勻性與極板間距成正比關系即隨著間距的增大均勻性變好，合理的電極設計能讓等離子清洗效果更好。

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      東莞市恒芯半導體設備有限公司，坐落于“世界工廠”之稱的粵港澳大灣區，是一家集研發設計、生產 制造、銷售服務為一體的專業化等離子技術應用基地企業。 公司主打：離線及在線式真空/大氣等離子清洗設備、水滴角測試儀等產品，配套研發等離子電源、氣體 質量流量計等配件。產品廣(guang)泛應用于微電子、半導體、新能源、3C電子、航空、汽車、包裝印刷、生物 醫療、新型復合材料等行業，以及科研所和高校的實驗項目。大家有任何等離子清洗機的需求隨時聯系我們，我們隨時為您服務。