恒芯plasma等離子清洗機設備常plasma等離子清洗的機主要是活性粒子的物理（li)作用和化學作用，那么在清洗不同的材料時，選擇正確的介質氣體，可收到事半功倍的效果。材料，可以大致分為金屬和非金屬兩種，其中金屬清洗的目的是主要是去除表面氧化物和有機物，非金屬清洗主要是去除表面有機污染物，根據反應機理（li)，氣體有兩種分類，一種是反應性氣體(化學作用)，主要是氫氣、氧氣、四氟化碳等;另一類是非反應性氣體，主要有氬氣、氦氣、氮氣。

      1、氬氣：氬氣清理的原理是物理轟擊表面。氬氣在物理上很有效，因為它有很大的原子尺寸，能夠以很大的能量穿透產品表面層。正氬離子被負極板所吸引，撞擊力使表面的所有污漬都消失，然后氣體污染物將隨泵一起排放。

      2、氧：與產品表面的化學物質發生有機化學反應。例如，氧可以合理去除有機化學污染物，與污染物反應生成二氧化碳、一氧化碳和水。一般而言，化學反應易于去除有機污染物。

      3、氫：氫可以用來去除金屬表面的氧化物。常與氬混合，提高清（qing)除污垢的能力。人們普遍關注氫的可燃性和氫的儲氫用途問題，我們可以用氫氣產生器從水中造氫，排除潛在安全隱患。

      4、cf4/sf6：氟化氣體一般用于半導體材料和pwb(印刷線路板)等工業生產中，pads工藝流程中使用的氟化氣體將氧化物轉化成氯化物，從而實現了無流動焊接。

      在實際清洗中，單一的利用物理或化學作用效果欠佳，更多是充入混合氣體，同時利用兩種或以上的混合氣體以得到更好的清洗效果。比如氬氣和氧氣的結合，氬離子采用物理轟擊被清洗表面污物，氧氣與表面污物發生氧化反應，并且當氬氣和氧氣分子一經碰撞便可以使電荷轉換并結合，形成新的活性原理，使電離和離子能量得到很大程度的降低，同時會產生更多的活性粒子，此時，清洗效果已經達到1+1>2的效果。

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