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大氣層(常壓)等離子清洗機是一種將無水無油壓縮空氣(CDA)等氣體通過噴射電極形成等離子體的裝置,真空(低壓)等離子體清洗機是先將反應腔抽真空,再通入反應氣體,維持到一定真空度后在電極處通電,形成高頻高壓電場,激發氣體放電的裝置。
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