為確保設(shè)備的正常運(yùn)行及更長(zhǎng)的使用壽命，請(qǐng)按時(shí)對(duì)設(shè)備各部分進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)!

                                    東莞恒芯等離子體清洗機(jī)常規(guī)檢查表

1、清洗反應(yīng)倉(cāng)：每周最少一次清洗反應(yīng)倉(cāng)，建議有條件的可以每次交接班清洗；清洗時(shí)請(qǐng)用無(wú)塵布蘸上無(wú)水乙醇（酒精），然后擦拭電極載物板、載物板承托、反應(yīng)倉(cāng)內(nèi)部、反應(yīng)倉(cāng)與門板的接觸部位以及門板。注意：禁止拿蘸有酒精的無(wú)塵布擦拭視窗口上的玻璃表面。清洗完倉(cāng)體之后，機(jī)臺(tái)空洗設(shè)置清洗時(shí)間10分鐘，空洗一遍以驅(qū)走倉(cāng)體內(nèi)部的殘余污物。

2、真空密封性:檢查各連接法蘭及氣管連接處是否連接良好，檢查門板密封圈是否有斷裂。

3、電極載物板的維護(hù)：每月需要檢查下，電極載物板是否與導(dǎo)電銅帶    可靠連接；建議每天清潔2次電極載物板。
                                                                                                               

4、射頻電纜線的維護(hù)：射頻電纜線由射頻電源引出，經(jīng)過(guò)匹配器之后，連接到倉(cāng)體,需要每月檢查下射頻電纜線上各接口是否鎖緊，若未鎖緊請(qǐng)鎖緊即可。

5、泵組維護(hù)保養(yǎng)：泵需要每個(gè)月點(diǎn)檢一次油液面；每月點(diǎn)檢時(shí)需要查看真空泵和羅茨泵的視窗口油液以及油的顏色，油液一般介于最低線MIN和最高線MAX之間，假如發(fā)現(xiàn)液面太低則需要加油，太高則放油。另外正常的油是清潔透明的，當(dāng)油呈黑褐色或者聽到泵噪音異響時(shí)則應(yīng)該及時(shí)更換泵油。一般建議6-8個(gè)月需要更換油一次，更換時(shí)先將舊油放出，加入0.5L左右新油，再點(diǎn)動(dòng)泵運(yùn)行幾次，將加入的新油倒出，再重新加入新油，直至加到油液窗口MIN和MAX之間。注：真空泵加油型號(hào)#68，羅茨泵加油型號(hào)#46；水箱建議8-12個(gè)月?lián)Q一次水。

6、工作氣體的保養(yǎng)：減壓閥上方有兩個(gè)指針表，表1為出氣口壓力，一般設(shè)置0.2-0.45MPA；表2為氣瓶壓力表，檢測(cè)氣瓶?jī)?nèi)部壓力，為0時(shí)則用完，用完之后機(jī)臺(tái)會(huì)有報(bào)警提示；旋鈕1用于調(diào)節(jié)出氣口壓力，順時(shí)針加大，逆時(shí)針減小，一般定過(guò)位置之后，不要去隨意調(diào)節(jié)黑色旋鈕，旋鈕2為開關(guān)氣閥，長(zhǎng)時(shí)間不用的時(shí)候需關(guān)閉。

7、檢測(cè)工作氣體氣密性：

  ①先折彎出氣管;

  ②逆時(shí)針將旋鈕2關(guān)閉；

  ③查看表1，表2的指針下降情況，幾乎不動(dòng)時(shí)為氣密性良好。若降的快，則漏氣，需擰緊減壓閥上的各接口，直到測(cè)試正常為止。   

  ④如上正常之后，將氣管接回機(jī)臺(tái)，重復(fù)② ③，以檢測(cè)機(jī)臺(tái)是否漏氣

  最后提醒大家，無(wú)論是進(jìn)行保養(yǎng)或者維修，在這之前首先要關(guān)閉電源，做好相關(guān)的防范措施噢！東莞恒芯等離子清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體（LED/IC/PCB）、3C類消費(fèi)電子(手機(jī)、筆記本電腦）、航空、塑膠、汽車、生物醫(yī)學(xué)、五金等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。

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